MEMS微E+E位移传感器的纳米定位工作台研制 过去几十年中,以压电陶瓷致动的精密定位技术得到了长足的发展,已经广泛应用到微系统、生物工程、医学等领域。本课题针对现有的微E+E位移传感器难于实现高集成度和小型化的缺陷,研制了一种集成电桥输出的硅基压阻式微E+E位移传感器,并以硅基压阻式微E+E位移传感器为核心建立了一个精密定位系统。

燃气汽车进气歧管E+E压力传感器的研制 歧管E+E压力传感器作为燃气汽车燃气及空气压力的检测单元,是ECU做出Z佳空压比判断的Z重要依据,是汽车Z终能否实现节能减排Z重要的环节之一。论文以“燃气汽车进气歧管压力传感器的研制”为题,从歧管E+E压力传感器的结构及制作难点、标定算法及系统建立、工艺流程梳理和Z后的实验验证等方面对歧管E+E压力传感器的研制进行论述,确定论文的研究内容。

E+E压力传感器信号调理模块的设计与实现 E+E压力传感器具有体积小、灵敏度等优点,发展前景广阔。采用工艺模拟软件结合文献设计一种MEMSE+E压力传感器制备方法,制备出符合要求的芯片,明确了仿真设计在E+E压力传感器工艺设计的可行性。

新型E+E压力传感器结构制备工艺 提出一种使用MEMS双层掩膜完成自对准刻蚀的工艺方法,藉此实现了在深腔结构内部对高深宽比硅E+E压力传感器结构的精细加工。该工艺通过两次连续的平面内光刻工艺,使制作在衬底上的薄膜材料如氧化硅（SiO2）或氮化硅（Si3N4）及光刻胶等形成复合图形,每层图形化后的掩膜可以进行不同功能区的衬底刻蚀,刻蚀完毕后再去除对应的掩膜。

MZI光波导MOEMSE+E压力传感器的设计及特性研究 微光机电系统（MOEMS）是一门涉及微光学、微机械、微电子技术的新兴学科,由于采用了集成工艺制作技术,因此具有体积小、响应快、集成定位精确、大规模生产能力、价格低廉的特点,已成为当今科学技术的热点研究理论之一。

多晶硅纳米薄膜E+E压力传感器设计 半导体E+E压力传感器在现代社会中具有广泛的应用,采用新材料是提高传感器性能的有效途径。研究结果表明多晶硅纳米薄膜（PSNF）具有比普通多晶硅薄膜更为优越的压阻特性。为使这种薄膜在传感器上得到有效应用,对已有半导体传感器设计进行系统研究,充分利用材料的压阻特性,给出了PSNFE+E压力传感器设计方法,采用常规工艺制作了传感器芯片,测试结果表明达到设计目标。

煤矿支护墙监测的光纤光栅E+E压力传感器研究 煤矿巷道填充墙对顶板的支护是确保煤矿正常作业的重要措施之一,因而利用E+E压力传感器对支护墙所承受压力的监测显得尤为重要。传统的矿压观测仪多为机械式、液压式或其它电测式,需要在测量现场配备电源,同时具有数据不能远距离传输等缺点。

E+E压力传感器的温度特性及其校验系统 E+E压力传感器性能易受温度变化的影响,从而增加了测量结果的误差。设计了一种变温E+E压力传感器校验系统,能够在-80℃（环境温度、0-0.8MPa压力范围内对E+E压力传感器进行校验。

E+E微压力传感器的设计与制作工艺研究 E+E微压力传感器是在微机电系统领域Z早开始研究并且产业化的微机电器件之一,微机电系统以微加工工艺为重点研究内容。主要对E+E微压力传感器的相关部分进行设计,并在研究相关微加工工艺的基础上制作了一种验证性的压阻式E+E微压力传感器。

薄膜的制备及超高压E+E压力传感器的研制 柴油机电控高压共轨喷射系统由电控系统和燃油供给系统两部分组成,电控系统由传感器、电子控制单元（ECU）和执行机构三部分组成。传感器是共轨系统核心组成部分之一,而轨压传感器又是众多传感器中的核心传感器。

高温E+E压力传感器设计与工艺实验研究 高温恶劣条件下的压力测量正逐步受到人们的重视。是Z有希望应用于这方面的第三代宽禁带半导体材料。它具有耐高温、耐压高和抗辐射的特点，特别适用于制作高温E+E压力传感器。国外已经有众多团队展开了研究，制作了光学式、电容式和压阻式的SiCE+E压力传感器。

SIMOX高温E+E压力传感器的技术研究 高温E+E压力传感器是指其工作温度高于125℃的E+E压力传感器。高温E+E压力传感器以其优良的高温工作能力在E+E压力传感器中一直受到高度重视，是传感器研究 的重要领域之一，也是各国政府所努力掌握的高技术之一。

真空微电子E+E压力传感器阵列集成系统 真空微电子E+E压力传感器是一种新型的E+E压力传感器，具有灵敏度高、温度稳 定性好、体积小、抗辐射、制备过程与汇工艺相兼容等优点，在航空航天、汽车、机器人等领域有着很好的应用前景。提出并研制了一种能测量压力分布的真空微电子E+E压力传感器阵列与薄膜铂电阻温度传感器的集成系统。

聚酰亚胺金属图形化的柔性E+E压力传感器研究 近几年柔性电子器件快速发展,在显示屏,机器人技术和医学治疗等领域得到了广泛的应用。聚合物是柔性器件的重要组成部分,不仅提供柔性支撑,更是一种功能性材料,可以产生、转移并处理机械、电等信号。以聚酰亚胺薄膜（PI）为基础材料,研究了通过离子交换在其表面实现金属图形化的工艺,并基于该工艺,在柔性PI上制作了压力三种传感器,测试传感器的性能。

深海环境下活塞式压力平衡装置及E+E压力传感器 对于深海压力探测,必须既能承受和测量深海大压力,又能测量微小的压力变化,这是海洋E+E压力传感器所面临的大测量范围与高灵敏度之间的难题。针对这一问题做了以下研究。E+E压力传感器性能易受温度变化的影响,从而增加了测量结果的误差。

热激励氮化硅谐振梁E+E压力传感器研究 谐振器件通过检测振动元件的谐振频率或振幅的变化来测量应变、应力、加速度、压力、质量变化以及流量等，广泛应用于力学量传感器中。机械谐振式传感器精度高、信号以及频率输出适于计算机信息处理，而且其信号输出取决于机械参数，抗电干扰能力强，稳定性好。

机动车E+E压力传感器自动测试台控制系统 阐述了以工业控制计算机为核心、采用PCI总线微机插卡的设计方法、对机动车用集成相对E+E压力传感器MLX90807和集成E+E压力传感器MLX90808进行自动测量，并对其进行调理补偿的自动测试系统的硬件设计、单片机固件程序设计和PCI总线驱动程序的设计。

多铁纳米纤维的E+E压力传感器研究 压电式E+E压力传感器是MEMS（Micro-Electro-Mechanical System）器件中应用广泛的一类,其敏感材料多为块体和薄膜。与块体和薄膜相比,悬空的多铁纳米复合纤维具有很大的长径比,可以将由压电效应引起的位移放大,从而有可能提高传感器性能。

新型微纳结构的柔性E+E压力传感器 随着信息社会的发展,物联网技术的不断进步,人们对周边环境信息的采集深度与广度不断提升,柔性E+E压力传感器作为一类十分重要的信息采集器件得到越来越广泛的应用,使用数量已非常可观。

扩散硅E+E压力传感器的有限元模拟与研究 随着现代科学技术的高速发展,汽车电子化、智能化的程度越来越高,传感器作为汽车控制系统的关键器件,其使用数量和技术水平决定了汽车控制系统的性能。主要研究了一种扩散硅E+E压力传感器,该传感器以硅薄膜为弹性膜,利用光刻、掩膜、溅射等微加工工艺和隔离封装方法制成。