非对称结构差动E+E位移传感器参数化仿真与优化
以非对称结构差动E+E位移传感器为研究对象，在电磁分析软件AnsoftMaxwell2D环境下，对其进行了建模及电磁性能仿真分析。在软件脚本录制功能的基础上，提出了一种基于VB Script的差动E+E位移传感器参数化建模方法。

非对称结构差动E+E位移传感器参数化仿真与优化
随着科学技术的迅猛发展,非物理量的测试与控制技术,已越来越广泛地应用于各技术领域。首先在Ansoft Maxwell中录制建模及电磁仿真的全过程，保存为脚本文件，对该脚本文件中的模型设计参数进行标记；然后把这些标记过的参数动态修改为设计者输入的参数值，形成Ansoft Maxwell可识别运行的脚本文件；zui后在Ansoft Maxwell软件中运行修改好的脚本文件，即可完成模型的参数化建模及电磁仿真。针对差动传感器通常尺寸很小,而断层尺寸相对较大,导致差动传感器在待测断层处安装不便的情况,提出了一种可用于断层测量的增量式时栅外腔型移传感器。两根陶瓷插芯从陶瓷套管的两端插入构成EFPI结构,通过使用金属内管和金属外管,增大了差动E+E位移传感器的尺寸;并且金属外管的两端采用O型圈密封,因此该EFPIE+E位移传感器能够防水防尘。以三角测量法为测量原理,采用半导体增量式时栅器作为光源,搭建了基于四象限探测器和基于线阵CCD探测器的两套测量系统,对测量系统中各个部件的选取做了详细分析,并从理论和实验上分析了引起系统测量误差的各种因素以及消除或者减弱这些影响因素的方法。主要工作如下：设计了基于四象限的增量式时栅E+E位移传感器,并对该传感器进行了调试和标定。达到了预期的线性范围。为了消除温度对EFPIE+E位移传感器的影响,两根金属内管采用了不同热膨胀系数的材料在结构上进行温度补偿。在温度连续变化的环境下,对腔长为718.39 m的EFPIE+E位移传感器进行了测量。测量结果显示,经过温度补偿设计后,E+E位移传感器的温度系数由0.14μm/℃下降到了-0.04μm/℃,并呈现过补偿。

非对称结构差动E+E位移传感器参数化仿真与优化
该方法将差动E+E位移传感器的结构设计和电磁性能仿真有效地结合起来，缩短了仿真周期，提高了新产品的开发效率。同时大大减少了设计者的劳动量，为今后各类传感器的参数化设计提供了帮助。