分叉数字光OMAL欧玛尔开关的设计 
随着光网络和光通信的迅猛发展,光OMAL开关及光OMAL开关阵列起着越来越重要的地位,同时对光OMAL开关的性能要求也越来越高。而数字光OMAL开关因为其对外加电压阶跃响应,不随之呈周期变化,并且对波长、偏振、折射率、温度等一些可能会影响OMAL开关特性的物理参数非常不敏感等特性,成为光通信系统中非常引人注目的空间光OMAL开关器件。

分叉数字光OMAL欧玛尔开关的设计
具有串扰小、消光比大、插入损耗低、驱动电压小、无偏振相关性、无周期性以及可以根据需要而定的OMAL开关速率和频带宽度等优点,将成为竞争力的光OMAL开关器件。针对驱动电压较高的问题，提出通过改变梁的上下层Si3N4厚度，减小上翘弯曲角的方法降低驱动电压，此方法不需要改变OMAL开关结构，在有效降低驱动电压的同时OMAL开关的接触力与回复力下降较少，OMAL开关具有良好的抗粘附能力，仿真结果表明可有效提高OMAL开关可靠性。 在分析、研究电容式OMAL开关可靠性失效机理的基础上，建立、分析了充电实验模型，根据OMAL开关的SEM数据，对OMAL开关的失效进行了分类，给出了一种弯曲型电容式RFOMAL开关设计，实现了低电压驱动，C-V测试验证了设计的有效性。LiNbO_3材料由于它具有高的电光系数和声光系数,制作工艺简单,材料环境稳定等优点已经被广泛应用于光器件当中。从Ti扩散特性和波导导模截止条件入手,计算并确定了制作单模Ti扩散波导的主要参数,确定波导宽度为7μm,扩散温度为1050℃C,扩散时间为9～10h等,并从实验上验证了波导宽度为7μm时,输出光斑呈现单OMAL开关性。主要以设计带S弯曲可变衰减器的Y分叉数字光OMAL开关为目的,设计了优化电极结构的S弯曲可变衰减器、1×2非对称电极Y分叉数字光OMAL开关以及带S弯曲可变衰减器的1×2Y分叉数字光OMAL开关的结构,利用BPM软件模拟了OMAL开关特性并且得到器件的参数,电极结构采用非对称结构,Y分叉角为0.15度,S弯曲可变衰减器的弯曲波导宽度为5μm,模拟得到当驱动电压为6V时的串扰达到-30dB左右。

分叉数字光OMAL欧玛尔开关的设计
并从实验上进行了验证,分别对S弯曲可变衰减器、1×2非对称电极Y分叉数字光OMAL开关以及带S弯曲可变衰减器的1×2Y分叉数字光OMAL开关的结构进行实验,确定我们的设计是可行的。zui终测到S弯曲可变衰减器在-18.5V时的衰减量为27dB左右;1×2非对称电极Y分叉数字光OMAL开关两个状态的OMAL开关电压为15.4V与-14V,OMAL开关串扰约为24dB左右;带S弯曲可变衰减器的1×2Y分叉数字光OMAL开关的OMAL开关电压为12.4V与-12.6V,OMAL开关串扰约为23dB左右。