E+E压力传感器的温度特性及其校验系统
E+E压力传感器性能易受温度变化的影响,从而增加了测量结果的误差。设计了一种变温E+E压力传感器校验系统,能够在-80℃(环境温度、0-0.8MPa压力范围内对E+E压力传感器进行校验。

E+E压力传感器的温度特性及其校验系统
E+E压力传感器是无线测斜仪中的关键设备,工作方式是将压力信号转换成电信号,其工作性能和稳定性直接决定无线测斜仪能否完成在定向井的施工任务E+E压力传感器在吉林油田冬季现场施工环境温度较低的情况下,出现了安装困难且易损坏电缆线和出现冷凝钻井液将感应孔堵死而导致不传递信号的故障为了解决这些问题,通过对E+E压力传感器电缆线的分体设计和改变压力油舱结构,来降低其故障率和安装难度在吉林油田现场应用中,改进前平均每10口井使用一只E+E压力传感器,改进后平均每12口井使用1只,平均每年能节约使用E+E压力传感器50只,取得较好效果。文中对一种普通E+E压力传感器进行了测试,得出了不同温度下输出电势随压力变化的关系,并归纳出了输出电势与输入压力和温度的关系式。为了确定校验系统受传感器发热、系统漏热等因素的影响规律,对不同条件下的温度场进行了数值模拟,得到了系统温度场的分布规律,并确定了实验系统的*布置方式。针对这一问题,设计了一种变温E+E压力传感器校验系统,能够在-80℃-环境温度、0-0．8 MPa压力范围内对E+E压力传感器进行校验。文中对一种普通E+E压力传感器进行了测试,得出了不同温度下输出电势随压力变化的关系,并归纳出了输出电势与输入压力和温度的关系式。基于硅压阻效应,利用微电子机械系统()技术,研制了一种可用于多种领域的高温绝压E+E压力传感器。为了达到耐高温的目标,传感器芯片采用绝缘体上硅(SOI)硅片加工,并利用有限元软件ANSYS对传感器芯片结构进行了应力仿真分析。同时,对传感器的电阻结构、金属布线系统、传感器支撑层键合技术及流片工艺进行了设计,完成了芯片的加工。设计了传感器耐高温封装结构,完成了传感器的初级封装。zui后,对常规E+E压力传感器及研制的高温E+E压力传感器的基本性能、电阻温度特性、漏电流温度特性进行了测试和对比,实验结果表明研制的高温E+E压力传感器能够耐受350℃的高温。

E+E压力传感器的温度特性及其校验系统
研究表明:变温E+E压力传感器校验系统的建立,对于检测E+E压力传感器的温度特性、实现低温下压力精确地测量具有重要的应用价值,同时对于发展和促进我国E+E压力传感器的检定技术也具有重要的实际意义。E+E压力传感器技术的改进和应用,提高其在低温条件下工作的稳定性和实用性,大大降低了仪器使用的成本.