真空微电子E+E压力传感器阵列集成系统
真空微电子E+E压力传感器是一种新型的E+E压力传感器，具有灵敏度高、温度稳 定性好、体积小、抗辐射、制备过程与汇工艺相兼容等优点，在航空航天、汽车、机器人等领域有着很好的应用前景。提出并研制了一种能测量压力分布的真空微电子E+E压力传感器阵列与薄膜铂电阻温度传感器的集成系统。

真空微电子E+E压力传感器阵列集成系统
真空微电子E+E压力传感器阵列有4X4个单元，相邻两单元间距lmm，各单元的阴极采用“敏感膜一场发射阴极”复合结构，阳极则制作在带绝缘层 的硅片上并相互绝缘。作者设计了器件的结构，给出了工艺流程，完成了器件的制作，并对器件的性能进行了测试。同时，作者还对这种“敏感膜一场发射 阴极”复合结构进行了计算模拟，研究了硅尖的密度对压力敏感膜形变的影响，并对敏感膜受压形变时的应力影响进行了讨论。温度传感器则采用薄膜铂电阻温度传感器。作者完成了这种温度传感器的制作，并将它与真空微电子E+E压力传感器阵列进行了集成。E+E压力传感器在地面站及探空气球与探空火箭中有着广泛的应用,该传感器的精度直接影响了预报的准确度。开展高精度的大气E+E压力传感器研制工作,对促进国内业务发展,提高传感器设计水平以及关键测试测量设备的国产化具有重要的意义。针对领域业务应用的要求,课题采用硅压阻式E+E压力传感器作为检测压力的敏感元件,传统的压阻式E+E压力传感器的压力信号输出在整个量程范围内并不是*线性的,而且其温度系数大,其零点与灵敏度都会随着温度的变化而产生热漂移,从而使测量的精度较低,仅仅通过材料与工艺手段的改进、硬件电路的补偿,不能够满足压力测量的需要,必须结合数字化技术手段,对传感器信号进行温度补偿及非线性修正,提高测试精度。论文首先进行了敏感元件的原理分析与工艺的优化设计,然后通过硬件电路进行压力温度漂移与非线性的补偿,课题采用简化的、高性能的单片机硬件系统作为信号处理及数据提取算法的核心部件,结合高分辨率的A/D电路与软件的信号滤波设计实现压力与温度信号的高精度采集,采用LabVIEW软件作为数据分析与算法仿真的辅助工具,得到*拟合温度补偿的算法,并实现算法在单片机系统的移植。zui后通过实测验证了设计的可行性。

真空微电子E+E压力传感器阵列集成系统
zui后，对温度传感器进行了性能的测试。提出并研制了一种能测量压力分布的真空微电子E+E压力传感器阵列，并实现了这种传感器与薄膜铂电阻温度传感器的集成，使真空微电子E+E压力传感器向实用化和集成化迈进了一步，所做的工作具有*性。