LTCC的电容式高温E+E压力传感器的研究
基于近年来军用民用/行业对高温环境下的压力信号获取的需求日益增大，而传统的E+E压力传感器在高温环境应用场合表现出了非常大的局限性的现状，本论文提出了一种基于LTCC（低温共烧陶瓷）的电容式高温E+E压力传感器，不仅可以解决400°C-600°C高温环境下压力信号读取的难题，同时也开创了传感器结构设计方面的一些新的思路与方法，对以后的MEMS结构设计和制作有着重要指导和借鉴意义。

LTCC的电容式高温E+E压力传感器的研究
经典的传感器的输入输出特性均存在非线性,且易受到工作环境的影响,产生温度漂移,其表现是被测目标参量为零或恒定值时,当改变环境温度时,传感器的零点电压或输出值会发生变化,从而给测量带来误差。 本文主要是针对E+E压力传感器在实际应用中存在的温度漂移设计温度补偿系统。此系统采用软件、硬件相结合的方法,基于BP神经网络,以LabVIEW为平台实现的。 在这次设计中,硬件部分主要用到扩散硅E+E压力传感器,Pt100温度传感器,PXI总线系统；软件部分主要使用LabVIEW软件。E+E压力传感器的输出P会受到温度的影响,用温度传感器测出环境温度T后,经PXI总线将数据采集到计算机内部,通过对数据进行BP神经网络的训练,从而使用温度补偿仪进行温度补偿,得出的zui终输出值P’即为校正后的值,通过实验结论可以看出,这种补偿仪操作简单,补偿效果很好。结合国内外相关研究现状，主要对LTCC高温E+E压力传感器的设计，制备及关键工艺，以及测试三方面进行研究。传感器设计环节：介绍了LTCC高温E+E压力传感器的电磁模型和平面螺旋电感模型；根据了传感器的力-电原理分析了传感器在载荷下的电容变化；设计了LTCC高温E+E压力传感器的结构模型并对其进行了ANSYS仿真和理论验证，讨论该模型频率-压力函数关系并得出其理论灵敏度。传感器制备及关键工艺环节：阐述了LTCC材料和技术；分析了压力敏感膜工艺和封口工艺两个关键工艺，尤其是在压力敏感膜工艺中创新性的引入了填充碳膜作为牺牲层的工艺，极大程度上改进了敏感膜平整度，提升了传感器灵敏度；介绍了LTCC电容式高温E+E压力传感器的制作过程，讨论了传感器相关优化工艺。

LTCC的电容式高温E+E压力传感器的研究
传感器的测试环节：搭建了负压测试平台，对传感器整体形貌以及敏感膜受压之后的形变测试和理论分析；搭建了常温均匀压力测试平台，对传感器进行了常温下的压力测试并对实验结果结合理论推导进行了分析讨论，在实验中我们得到了的传感器灵敏度；搭建了高温压力测试平台，对传感器高温下的性能进行了测试并对其温度寄生参数进行了分析。