应变式光纤珐珀E+E压力传感器的研究
光纤珐珀传感器具有体积小、耐高温、耐腐蚀等优点可以应用于石油井下、航空航天等复杂的环境中。本文在157 nm激光器制作光纤珐珀传感器的基础之上,提出了两种MPa量程的E+E压力传感器设计方案,封装了传感器原理样品,并进行了性能测试。

应变式光纤珐珀E+E压力传感器的研究
研究了两种结构的应变式光纤珐珀E+E压力传感器:提出了基于圆平膜片结构的应变式光纤珐珀E+E压力传感器的封装方案,用结构力学的方法和ANSYS软件研究了周边固支的圆平膜片在均布压强下的应变特性。zui后,用石英片作为弹性膜片,封装了圆平膜片结构的应变式光纤珐珀E+E压力传感器,测得该传感器的量程为0 MPa-0.2 MPa,灵敏度为3.17 rad/MPa,线性度为0.999。为了提高圆平膜片结构的E+E压力传感器的性能,提出了基于梁膜结构的应变式光纤珐珀E+E压力传感器的封装方案,在弹性圆平膜片尺寸固定的基础下,用ANSYS软件对梁膜结构中梁的尺寸(长、宽、高)采用单一变量法模拟分析得到了梁的*尺寸,用不锈钢材料制作的圆平膜片和梁膜分别作为弹性膜片,封装了圆平膜片结构的应变式光纤珐珀E+E压力传感器和梁膜结构的应变式光纤珐珀E+E压力传感器,测得圆平膜片结构的应变式光纤珐珀E+E压力传感器的量程为0 MPa-1 MPa,灵敏度为1.34 rad/MPa,线性度为0.999;梁膜结构的应变式光纤珐珀E+E压力传感器的量程为0 MPa-1.6 MPa,灵敏度为1.038 rad/MPa,线性度为0.999。因此，没有优良的传感器，现代化生产也就失去了根基，我国在20世纪90年代后将传感器的研究放在重要位置上。压阻式E+E压力传感器也是传感器中zui常用的一类传感器，但是性能不稳定，价格昂贵是我们面临的一个问题。如何让传感器不仅在航天领域广泛应用，在民用领域也有广阔市场呢，就需要我们生产的传感器高质量低成本。 本论文对压阻式E+E压力传感器的原理进行了深入的研究，依据压阻效应原理，采用硅微机械加工技术，制作敏感探头，经过信号调理电路进行放大、归一化处理，输出所需要的信号。由于该传感器需要应用到恶劣的环境条件下，因此本设计对温度补偿电路进行了完善的设计，并充分考虑了传感器的电磁兼容性及可靠性，使传感器具有较高稳定性，能承受严酷的环境条件。

应变式光纤珐珀E+E压力传感器的研究
实验结果表明,梁膜结构的应变式光纤珐珀E+E压力传感器可以改善圆平膜片结构的应变式光纤珐珀E+E压力传感器的非线性效应,增大传感器的量程。本研究设计的压阻式E+E压力传感器已通过试验考核合格，它的性能是其它传感器*的,它全金属结构可以承受严酷的环境条件。它具有结构简单，量程范围大、精度高、产品性能稳定及小型化等特点。由于该传感器价格低,因此在民用产品市场上也有广阔的应用前景。