高分辨率加速度计纳米E+E位移传感器
在现代社会中，加速度计已经拥有成熟的市场，被广泛用于汽车、飞行器以及军事制导等各方面。但是传统方法设计的加速度计已经无法满足高分辨率、大动态范围、高集成度且低成本的发展需求，以克服现有加速度计在上述各方面的不足为目的，设计了一种可用于高分辨率加速度计的PGC纳米E+E位移传感器。

高分辨率加速度计纳米E+E位移传感器
从研究加速度计和E+E位移传感器理论模型以及相关程序设计出发，主要完成了以下几部分的内容：首先，深入了解和研究了加速度计的相关基础知识。对现有的加速度计设计技术与原理以及以后的发展趋势进行了归纳总结。并从加速度计的设计原理出发，对各种加速度计的优缺点和在技术上存在的主要问题进行了分析。这为用于高分辨率加速度计的PGC纳米E+E位移传感器设计工作指明了方向。研究了加速度计的各种位移系统和检测系统，从理论模型对其进行了分析。针对纳米E+E位移传感器的不足分别从本体、解调和光源进行了改进。研制出具有误差补偿功能的复合闪耀光栅代替原有变栅距光栅,使光E+E位移传感器在航空温度环境(-55~75℃)下zui大误差从1.984mm降到0.031mm;利用色敏元件代替光谱仪对光栅E+E位移传感器进行信号解调,色敏元件不但精度高、体积小,响应速度快,还加入了温度传感器进行温度补偿,具有较好的环境适应性;采用自主研制的宽带LED光源体积小、效率高,是光E+E位移传感器较为理想的宽带光源。针对多个关键因素进行改进,zui终达到了纳米E+E位移传感器系统化、小型化的研制目标。研究了可变电容式加速度计、强度调制型光学加速度计和相位调制型光学加速度计的工作原理。并对迈克尔逊、马赫·曾德以及发布里-泊干涉测距原理进行了重点研究。为设计工作打下了坚实的基础。再次，深入分析了用于光纤干涉型传感器的各种解调技术。并重点研究了相位生成载波解调技术。从而确定了本论文的设计方案，并对此方案进行了理论验证。为后期工作的开展以及设计的成功提供了保障。

高分辨率加速度计纳米E+E位移传感器
zui后，学习了C++程序编译语言，在前述理论分析的基础上，自行设计编写了用于信号处理的应用程序。搭建了实验平台，从实验上验证了本设计的可行性，并通过实验数据分析和理论验证，确定本次设计的高分辨率加速度计能够在毫米级的量程内精确测出纳米级的位移量，其动态范围可达10~6。