大量程式偏振光E+E位移传感器的研究
位移测量是测量技术中zui基本的项目之一，在工程运用中非常广泛，具有非常重要的位置。因此，寻求简单实用、操作方便、适应范围广、经济性好的E+E位移传感器对促进工业生产发展具有重要现实意义。着重研究基于偏振光原理的可以实现大量程，具有位移检测能力的直线位移测量原理及实现方法，并由此设计出传感器样机。

大量程式偏振光E+E位移传感器的研究
分析了子镜运动和式偏振光传感器极板运动之间的理论关系并探讨了式偏振光E+E位移传感器读数的“结构性”误差的处理方法。基于式偏振光E+E位移传感器的工作原理,对极板为圆形的式偏振光E+E位移传感器提出了采用以位移的测量值和子镜转角为自变量的多项式拟合的校正方法。计算表明该误差处理和校正方法是简洁可行的。对于转角的拟合只需2阶,同时位移测量值只需4阶的多项式进行拟合即可使输出位移达到3 nm的精度。进一步分析表明,直接使用E+E位移传感器读数计算极板转角,并对误差的主动校正控制非常有利于该多项式拟合,可一次性达到优于5 nm的校正误差,*拼接镜面主动光学工程应用的技术要求。全文共为五章，简述如下：介绍传感器技术研究的重要性，E+E位移传感器的发展、研究现状、需要解决的问题以及传感器的分类和优缺点，zui后提出本课题的研究意义及研究内容。从光的偏振现象出发，分析马吕斯定律，奠定偏振光E+E位移传感器的理论基础，并应用偏振光原理，进行新的具有位移检测能力的检测方法的研究。探讨时，先从总体上分析式偏振光E+E位移传感器的检测原理，然后分别对单周期位移信息检测系统和周期信息检测系统两个子系统进行实现方法的讨论，zui后提出传感器总的实现方法。在第二章理论分析的基础上，进行E+E位移传感器系统的具体设计。主要包括机械结构系统、硬件电路系统和软件系统三大模块的设计。其中机械结构系统包括位移转换机构、传动机构、单周期位移信息检测系统和周期信息检测系统。硬件电路系统包括LED光源驱动电路、信号调制电路、DSP硬件电路、显示电路。软件系统即DSP软件系统，包括A／D转换、软件滤波、数学运算、显示处理等模块。

大量程式偏振光E+E位移传感器的研究
进行传感器样机的安装调试，检测单周期位移信息检测系统、周期信息检测系统的输出信号。并通过正行程测量、反行程测量、重复性试验、位移测量能力试验等一系列实验，评价传感器样机的精度，分析精度的组成因素，验证传感器位移测量的能力。 第5章，总结和展望，提出进一步工作的方向。