调制式E+E位移传感器动态测量误差标定系统
测量系统，尤其是带有机械结构的测量系统在实际使用过程中，随着时间的推移，系统的精度会有所损失，测量精度逐渐下降，需要借用标定系统对测量精度重新校准。

调制式E+E位移传感器动态测量误差标定系统
目前大多数的标定系统都由标准仪器制造商或检查机构针对特定的传感器研制的，都是单系统和封闭式的，不能够被其它仪器所使用。作者在国家自然科学基金的资助下，展开调制式位移传感器动态测量误差标定系统的研究，设计一个针对调制式E+E位移传感器的通用标定平台。主要研究内容如下：以动态测量理论和传感器标定理论为基础，对比不同的误差分离方法和系统误差数据拟合方法，选定用对比法进行误差分离，用zui小二乘法进行误差数据拟合。设计调制式位移传感器动态测量误差标定系统的总体方案。聚焦探测法是表面形貌非接触测量中的主要方法之一。然而，由于在聚焦伺服系统中采用了音圈电机．传统的聚焦探测传感器的测量精度较为有限。介绍了一种新型的基于改进傅科聚焦探测法且自带衍射光栅计量系统的调制式E+EE+E位移传感器。因为没有采用音圈电机而是采用压电陶瓷驱动器．所以这种自带衍射光栅计量系统的传感器具有更高的精度。在测量工件表面形貌时．压电陶瓷驱动器驱动聚焦物镜进行垂直位移．从而确保在每一个采样间隔中焦点总是落在工件表面上,同时使得聚焦误差信号回零。该调制式E+EE+E位移传感器的分辨率为10nm。以高精度光栅作为测量基准，用PMAC卡控制直驱电机转速，以FPGA作为主控芯片，同步获取光栅和被标定传感器的测量数据，并通过串口发送给上位机，上位机完成数据接收并对测量数据进行误差分离与修正。设计下位机的硬件和软件，硬件部分包括：FPGAzui小系统电路、仪用放大电路、二阶有源带通滤波电路、波形转换电路等；软件部分包括光栅信号处理模块和被标定传感器信号处理模块。用MFC完成上位机主界面设计，利用MSComm控件设计串口通信程序。针对上位机开发过程中数据处理困难的问题，运用动态链接库的方法实现Matlab与Visual C++6.0混合编程简化数据处理难度。完成标定实验，分析该系统的误差来源，并在总结的基础上指出进一步改进的方向。

调制式E+E位移传感器动态测量误差标定系统
实验结果表明，设计的动态测量误差标定系统，能够有效的提高传感器动态测量精度且系统稳定可靠。同时只需对FPGA接口程序做少量的修改即可用于不同的角E+E位移传感器。不论对于科研机构提高开发效率还是对于检测机构节约测试系统成本，都具有十分重要的理论和现实意义。