真空微电子E+E压力传感器的研究
压力是过程自动化五大参量中的首要参量，作为压力信息获取的核心元件的E+E压力传感器，在石油、化工、冶炼、电力、仪器仪表、机械、汽车、智能结构、航空航天、国防等领域中是*、量大面广的基础元件，它已经成为现代信息技术的重要组成部分，在当代科技领域中占有十分重要的地位。

真空微电子E+E压力传感器的研究
微电子E+E压力传感器利用正反馈原理,构成包括机械谐振子在内的机电一体的高品质闭环谐振系统,闭环拓扑结构对保持机械谐振器振荡的稳定性和可靠性起着重要作用。针对一种典型结构的静电驱动电容检测微电子E+E压力传感器,在分析工作原理的基础上,构建了其行为级闭环自激仿真模型,在MATLAB中对自激回路的起振情况进行了仿真;zui后设计了基于AGC的闭环控制电路。特别是自从80年代末微型电子机械系统(MEMS)技术的崛起，从根本上改变了许多传统E+E压力传感器的设计思想和制造方法，为E+E压力传感器的微型化、集成化、智能化的研究提供了新的技术基础。现在，世界各国已将探索集成化、新原理、新结构、新功能、高性能的E+E压力传感器及系统作为研究开发E+E压力传感器的重点。在重庆市科技“十五”项目的资助下，提出利用微电子技术、MEMS技术和真空电子技术相结合的方法，研究一种带过保护功能的真空微电子E+E压力传感器，该E+E压力传感器由带过保护的场致发射阴极锥尖阵列、弹性阳极膜、绝缘层、真空微腔所构成，具有温度稳定性好、抗辐射、快响应、高灵敏、体积小、二次仪表简单、可批量生产等优点，具有广泛的应用市场。主要研究工作如下：在查阅了国内外大量文献资料的基础上，对各种E+E压力传感器的结构、制造方法、研究现状和发展趋势作了深入细致地总结分析。研究了真空微电子E+E压力传感器的相关基础理论，从理论上分析了半导体场致发射电流与半导体功函数及其与温度的关系。研究了真空微电子E+E压力传感器的力学和电学特性、传感器结构及相应的计算与模拟。提出和完成了自保护功能的真空微电子E+E压力传感器的结构设计。

真空微电子E+E压力传感器的研究
进行了传感器的工艺设计和工艺研究，成功地研制出了传感器实验样品。其场致发射阴极锥尖阵列密度达24000个／mm~2，起始发射电压为1～5V，反向电压25V，当正向电压为5V时，单尖发射电流为0.2nA，压力灵敏度为98.5mV／bar。进行了传感器的测试和标定技术研究，并对测试结果进行了分析和讨论。