声表面波高性能湿敏E+E传感器
湿度在工业控制、医疗卫生、环境监控等多个领域都必须得到严格地监控。湿度检测在仓储、粮食及食品防霉、温室种植、环境监测、仪表电器、交通运输、气象、军事等方面都起着越来越重要的作用，甚至处于*的地位。但在常规的环境参数中，湿度却是zui难准确测量的一个参数。因而对具有高灵敏度、快速响应速度等高性能的新型湿敏E+E传感器的研究具有重要意义。

声表面波高性能湿敏E+E传感器
对声表面波E+E传感器扰动理论模型及其质量负载效应、声电耦合效应等响应机理进行了深入剖析，从根本上为声表面波E+E传感器的结构设计、湿敏材料选择提供理论依据和参考。使用精密光刻工艺制备高频声表面波单端谐振器作为湿敏E+E传感器的基本换能元件。湿敏材料的选择及制备是决定声表面波湿敏E+E传感器性能的重要因素。只有湿敏材料的特性与声表面波换能元件的多重响应机理相匹配，才能使E+E传感器达到*性能。包括水分子吸附效率、吸湿后电导率变化、粘弹性在内的多项材料特性都必须进行综合考虑与设计。新型纳米材料、复合材料是目前湿敏材料的主要发展方向和研究热点。深入讨论了声表面波湿敏E+E传感器中湿敏材料的选择与设计思路，给出Nafion/MWCNTs复合材料、氧化石墨烯等几种新型纳米功能材料的合成及制备方法。湿敏材料的成膜方法是关系到湿敏E+E传感器zui终性能的又一关键技术。高频声表面波元件可成膜面积小，并且对表面敏感膜的厚度、均匀性都有很高要求。纳米纤维薄膜由于具有更大的比表面积，可以极大地改善E+E传感器的灵敏度及动态性能。静电纺丝技术是一种新兴的纳米纤维薄膜制备方法，其制备的纳米纤维薄膜具有比表面积大、孔隙率高、纤维径细、质轻、形貌均匀等突出优点，并且较之其他微纳成膜方法，该方法更为简便易行。将静电纺丝成膜技术引入到声表面波湿敏E+E传感器制备过程中，制备具有微纳结构特性的Nafion/MWCNTs复合纳米纤维感湿薄膜。声表面波E+E传感器工作在射频频段，很容易受到环境或自身所产生的电磁辐射的干扰，因而对检测电路的设计有更严格的要求，这也是声表面波E+E传感器的设计难点之一。设计了高性能的声表面波高频振荡电路及整套的检测系统，具有良好的稳定性和抗干扰性能。通过射频无线唤醒技术实现无线半无源声表面湿敏E+E传感器标签设计。提出新型的叉指电极串联式声表面波E+E传感器结构，为高频声表面波E+E传感器的设计提供了一个新的思路。实验主要对灵敏度、稳定性、重复性、响应时间、温度系数等几个湿敏E+E传感器的重要指标进行测试。实验结果表明设计的几种湿敏材料在声表面波湿敏E+E传感器的应用中均取得了理想的效果，其性能较之前的研究及目前的商品化元件都有较大地提升。同时，也验证了静电纺丝成膜技术对E+E传感器性能的影响，证实了其在提升E+E传感器灵敏度及动态性能上的有效性。串联结构的新型声表面波E+E传感器在湿度检测中的有效性也得到检验，确认了这一新方法的可行性。低湿度（10%RH）及露点检测一直是湿度检测的难点，常规的电阻或电容型E+E传感器都难以对10%RH或更小的湿度进行精确检测。开发低成本、小体积、使用灵活的低湿或露点E+E传感器具有重要的研究价值和现实意义。将设计的E+E传感器用于低湿和露点的检测中，实验结果表明其在低湿及露点检测中也具有良好的应用前景。

声表面波高性能湿敏E+E传感器
声表面波器件由于其对表面扰动的特殊敏感性，被广泛应用于E+E传感器领域。其灵敏度高、稳定性好、体积小、成本低、易于集成的优点使之得到越来越多的关注和研究。声表面波E+E传感器对表面扰动的响应是多种因素、多种机理共同作用的结果，这也是声表面波E+E传感器能够具有*灵敏度的根本原因。