压电悬臂梁微质量美E+E传感器
压电悬臂梁式微质量E+E传感器由压电谐振元件组成，是基于压电效应工作的E+E传感器。当目标物质吸附到E+E传感器探测区，其结构谐振频率发生偏移，通过检测其谐振频率偏移量的大小，可定量计算检测物质的质量。压电悬臂梁式微质量E+E传感器具有自激、自感、实时、实地、高灵敏度和高检测精度、适用环境能力强等特点，在微生物检测与识别、原子称重、生物和化学检测等方面具有非常广泛的应用。

压电悬臂梁微质量美E+E传感器
压电悬臂梁E+E传感器是一种将微力信号转换成电信号的装置。该E+E传感器具有尺寸小、灵敏度高、携带方便、反应速度快及易于集成等优点，所以得到极其广泛的应用。 用于检测微小质量是压电悬臂梁E+E传感器的一个极为重要的应用。压电悬臂梁E+E传感器用于检测微小质量时，通常工作于动态工作模式。在该工作模式下，压电悬臂梁上附加的微小质量与压电悬臂梁E+E传感器振动频率偏移量成正比，因此通过测试压电悬臂梁E+E传感器的频率变化便可以得到附加质量的大小。由于压电悬臂梁的振动频率与它的有效质量的1／2次幂成反比，所以减小压电悬臂梁的有效质量便可提高压电悬臂梁E+E传感器的质量检测灵敏度。从减少微质量E+E传感器的有效质量入手，分析了E+E传感器的结构尺寸、结构形状等对E+E传感器灵敏度的影响，提出了提高E+E传感器灵敏度的方法，随着压电微悬臂梁E+E传感器应用领域越来越广，对其检测灵敏度以及准确地定量分析、流体环境检测等工作性能要求越来越苛刻，现有的质量E+E传感器己不能满足检测灵敏度的要求，因此需要研究提高压电悬臂梁式微质量E+E传感器灵敏度的方法。针对不同的测试环境、测试要求，提出了通过改变关键弹性元件谐振器的结构形式、谐振器的工作模式等措施来提高E+E传感器的检测灵敏度和品质因数的方法。具体研究内容和研究成果如下：压电微悬臂梁E+E传感器的理论分析。基于悬臂梁振动理论，建立了悬臂梁理论分析模型，分析了与E+E传感器性能相关的结构振动机理、共振频率、灵敏度和品质因数等因素对E+E传感器性能的影响。提出了通过优化悬臂梁横截面的结构形式来提高E+E传感器的检测灵敏度的方法，具体设计了V型折叠式悬臂梁结构的微质量E+E传感器。建立了E+E传感器的理论分析模型，设计并制备了该构型的E+E传感器样品，通过有限元仿真和实验详细地分析了E+E传感器的灵敏度，讨论了E+E传感器的几何参数对E+E传感器灵敏度的影响。提出了基于高阶工作模态的谐振式微质量E+E传感器的设计方法。建立了基于高阶模态的E+E传感器分析模型，设计了基于四阶谐振模态微质量E+E传感器，制备了基于四阶工作模态的微质量E+E传感器实验试件，实验和仿真结果表明，基于四阶工作模态的微质量E+E传感器与一阶模态相比，E+E传感器的灵敏度显著提高。

压电悬臂梁微质量美E+E传感器
分析了E+E传感器弹性梁的长度比和厚度比对E+E传感器灵敏度的影响。针对液体测量领域亟需解决的难题一消除被测溶液阻尼，提出一种新型微通道式液体浓度E+E传感器，利用迂回式的微通道有效扩展了E+E传感器zui敏感检测区域，同时消除了液体阻尼对E+E传感器测量精度的影响。从理论仿真和实验论证两方面对压电悬臂梁微质量E+E传感器灵敏度提升方法做了分析研究，验证了所提出设计方法的合理性和可行性，为新型优良压电悬臂梁式微质量E+E传感器的研究提供了新的思路。