Leybold莱宝TR211真空规管上海办事处

- 热电阻真空规(皮拉尼规) TTR91/TTR91S/TTR96/TTR96S/TR211
- 冷阴极电离真空规(潘宁规) PTR225
- 薄膜电容规 CTR100/CTR91
- 薄膜/皮拉尼复合规 TTR100/TTR100S
- 冷阴极电离/皮拉尼复合规 PTR90
- 热阴极电离/皮拉尼复合规 ITR90
- 便携式真空表TM90/TM100
- 新型Center和Display系列真空仪表 

按真空度刻度方法分类 (1)真空计：直接读取气体压力，其压力响应(刻度)可通过自身几何尺寸计算出来或由测力确定。真空计对所有气体都是准确的且与气体种类无关，属于真空计的有U型镑压力计、压缩式真空计和热辐射真空计等。

(2)相对真空计：由一些气体压力有函数关系的量来确定压力，不能通过简单的计算进刻度，必须进行校准才能刻度。相对真空计一般由作为传感器的真空计规管(或规头)和用于控制、指示的测量器组成。读数与气体种类有关。相对真空计的种类很多，如热传导真空计和电离真空计等。 按真空计测量原理分类 直接测量真空计 这种真空计直接测量单位面积上的力，有: (1)静态液位真空计：利用U型管两端液面差来测量压力。 (2)弹性元件真空计：利用与真空相连的容器表面受到压力的作用而产生弹性变形来测量压力值的大小。 间接测量真空计 压力为10-1Pa时，作用在1cm2表面上力只有10-5N，显然测量这样小的力是困难的。但可根据低压下与气体压力有关的物理量的变化来间接测量压力的变化。属于这类的真空计有： (1)压缩式真空计：其原理是在U型管的基础上再应用波义耳定律，即将一定量待测压力的气体，经过等温压缩

真空计可分为真空计和相对真空计两大类。凡能从其本身测得的物理量(如液柱高度、工作液、比重等)直接计算出气体压力的称真空计，这种真空计测量精度较高，主要用作基准量具。相对真空计主要利用气体在低压力下的某些物理特性(如热传导、电离、粘滞性和应变等)与压力的关系间接测量，其测量精度较低，而且测量结果还与被测气体种类和成分有关。因此相对真空计必须用真空计标定和校准后方能用作真空测量。但它能直接读出被测压力，使用方便，在实际应用中占绝大多数。真空技术需要测量的压力范围为105～10-11帕，甚至更小,宽达16个数量级以上,尚无一种真空计能适用于从粗真空(105～102帕)、低真空(102～10-1帕)、高真空(10-1～10-5帕)、超高真空(小于10-5帕)到*真空(小于10-10帕)的全范围测量,因而有多种真空计。zui常用的有U形管真空计、压缩式真空计、电阻真空计和冷热阴极电离真空计。

U形管真空计用以测量粗真空和低真空的真空计(图1)。在U字形的玻璃管中充以工作液(低蒸气压的油、汞)。管的一端被抽成真空(或直接通大气)，另一端接被测真空系统。根据两边管中的压差所造成的液柱差可测出被测真空系统的压力。压缩式真空计又称麦克劳真空计，是一种测量低真空和高真空的真空计。这种真空计一般用硬质玻璃制成(图2a)。A是一根与被测真空系统相连接的开管，D、B为内径相同的毛细管，V为球泡,其体积远大于毛细管。测量时，通过活塞2抽真空，然后用活塞1充气,使汞储存器C中的汞上升到覆没交叉口ΜΜ′，则D、V和B、A内的气体被隔成两个区域。再充气继续提高汞液面,D、V内的气体则进一步被压缩，压力增高。这样D、B间存在的压差可由汞柱高度差来表示(图2b)。玻璃容器的体积和毛细管的高度是可测出的，所以用玻意耳定律即可算出被测压力。测量精度较高,在10-3帕时的精度小于或等于5％。电阻真空计又称皮喇尼真空计，是一种测量低真空的相对真空计，主要由电阻式规管和测量线路两部分组成。电阻式规管(图3)是在管壳内封装着一条电阻温度系数较大的电阻丝，常用的为钨或铂丝。测量时，规管与被测真空系统相接，用一定的电压、电流加热电阻丝，其表面温度可用电阻值来反映，且与周围的气体分子的热传导有关，而气体分子的热传导又与压力有关。当被测压力降低时，由气体分子传走的热量减小，电阻丝表面温度就增高，电阻值增大；反之，电阻值减小。因此根据电阻值的大小就可测量出压力。热阴极电离真空计通称电离真空计，主要用于高真空测量。它是由圆筒式热阴极电离规管(图4)和测量线路两部分组成。这种规管与三极电子管相似，有3个电极：阴极(灯丝)、螺旋形栅极(加速极)和圆筒形收集极。测量时，规管与被测真空系统相连。通电后，热阴极发射电子，在飞向带正电位的加速极的路程中与管内空间的低压气体分子碰撞,使气体分子电离。电离所产生的电子和离子,分别在加速极和收集极(带负电位)上形成电子流Ie和离子流Ii。在被测气体压力低于10-1帕的状况下,当电子流Ie恒定时，离子流Ii与被测真空系统中的气体分子密度(亦即压力p)成正比。因此,离子流的大小就可作为压力的度量。这种真空计的测量范围为10-1～10-5帕。此外,还有测量上限能达102帕以上的高压力电离真空计

各种间接测量的数显真空规，它们是：

分类原理介绍
按照真空计测量原理所利用的不同的物理机制，可将主要的真空计分为三大类，分别是利用力学性能、利用气体动力学效应和利用带电粒子效应的真空计。
利用力学性能的真空计典型的有波尔登规（Bourdon）和薄膜电容规；利用气体动力学效应的典型真空计有皮拉尼（Pirani）电阻规和热电偶规；利用带电粒子效应的典型真空计有热阴极电离规和冷阴极电离规。
波尔登规
如右图所示，细的铜管受气体压力不同会有舒展现象，会带动杠杆和齿轮旋转，使得指针指示在不同刻度上，即可读出相应的气压值。
这种规的测量范围一般在100Pa至1atm。

欧瑞康莱宝公司作为全系列的真空设备供应商，拥有应用各种工作原理的真空计，其测量范围从1000毫巴到10-12毫巴，覆盖了15个数量级，可以满足各种真空工艺的要求。欧瑞康莱宝的真空计家族包括：
- 用于测量粗真空的各种工作原理的机械指针式真空表。
- 各种间接测量的数显真空规，它们是：
- 热电阻真空规(皮拉尼规) TTR91/TTR91S/TTR96/TTR96S
- 冷阴极电离真空规(潘宁规) PTR225
- 薄膜电容规 CTR100/CTR91
- 薄膜/皮拉尼复合规 TTR100/TTR100S
- 冷阴极电离/皮拉尼复合规 PTR90
- 热阴极电离/皮拉尼复合规 ITR90
- 便携式真空表TM90/TM100
- 新型Center和Display系列真空仪表

德国莱宝真空计|莱宝真空规管TR211准确、轻便的Center和Display系列真空仪表显示范围从1000毫巴到10-10毫巴，具有数显液晶显示器，可快速、直观、地反映真空系统的状态。数显读数可以用毫巴、托、帕和微米汞柱四种单位来显示。

另外，欧瑞康莱宝公司还拥有可以测量10-12mbar的超高真空测量仪表，这就是的IM540。
德国莱宝真空计|莱宝真空计|莱宝真空规管TR211今天，真空技术已经能获得从1000毫巴带10-13毫巴的超真空。为保证稳定、高质量的生产和工艺，必须采用的测量和控制仪器来检测与调整所需要的工作压强。
莱宝真空测量仪 今天，真空技术已经能获得从1000毫巴带10-13毫巴的超真空。为保证稳定、高质量的生产和工艺，必须采用的测量和控制仪器来检测与调整所需要的工作压强。

莱宝公司作为全系列的真空设备供应商，拥有应用各种工作原理的真空计，其测量范围从1000毫巴到10-12毫巴，覆盖了15个数量级，可以满足各种真空工艺的要求。