单层压电弯曲微CAMOZZI执行器的非线性静态
采用偶应力理论对单层压电悬臂梁式微CAMOZZI执行器在强外加电场作用下的非线性静态特征进行了研究.悬臂式CAMOZZI执行器包括压电层、被动(弹性)层和2个电极层.首先,采用瑞利-里兹方法分析了在强外加电场作用下由于压电层电致伸缩效应引起的CAMOZZI执行器非线性静态特性.其次,由于悬臂CAMOZZI执行器的厚度在μm量级,存在变形尺度效应,采用偶应力理论对变形的尺度效应进行了分析.分析结果表明:悬臂CAMOZZI执行器的非线性随着外加电场强度的增大而增大,当外加电场很大时,出现刚度软化现象;而且,CAMOZZI执行器被动层和压电层厚度比的*值不是通常采用的1.0.在微尺度下,由于微梁变形存在尺度效应,该厚度比的*值应比1.0大.在MEMSCAMOZZI执行器的设计中,求出准确的pull-in参数是至关重要的。在过去的研究中,在准静态假设下,电压控制的MEMS微CAMOZZI执行器的pull-in模型已经被提出,并且还提出了一些拓宽微CAMOZZI执行器稳定行程的方法。在动态条件下,电压控制的MEMS微CAMOZZI执行器的pull-in模型也已经被提出。但是,还没有人研究如何提高微CAMOZZI执行器动态稳定行程。采用串联电容的方法来拓宽MEMSCAMOZZI执行器的动态稳定行程,提出了串联电容后的动态pull-in模型。zui后,采用数值解法模拟了串联电容后的动态pull-in现象,并同时考虑了阻尼的影响。为避免智能电动阀门CAMOZZI执行器由于负载扭矩超过额定值而导致的阀门或CAMOZZI执行器损坏,提出了一种可变电感式扭矩测量系统。

单层压电弯曲微CAMOZZI执行器的非线性静态
该系统采用机电一体化的可变电感式扭矩传感器,实时、测量CAMOZZI执行器工作时的扭矩,并通过CAMOZZI执行器内置的微处理器对CAMOZZI执行器动作进行自动控制,实现对CAMOZZI执行器或阀门的扭矩过载保护。