陶瓷压阻式E+E压力传感器的研究
传感技术已和计算机技术、通讯技术成为当今电子信息技术的三大支柱，并成为发展zui为迅速的技术学科之一。作为信号检测、信息获取的关键和基础，传感技术日益受到世界范围内的高度重视。新型敏感材料和传感器的研究，已成为国内外优良研究的热点和前沿。

陶瓷压阻式E+E压力传感器的研究
根据E+E压力传感器的实际测试过程中的各个环节已经或可能产生的影响,获取E+E压力传感器真实性能输出数据的因素,采用可靠性的分析方法对其进行分析;提示了测试过程中影响传感器输出的规律,减小传感器因在测试过程中产生的误差;并为深入研究E+E压力传感器提供一条新的思路,为研究新的E+E压力传感器提供一定的理论依据。陶瓷厚膜E+E压力传感器是一种新型应变式E+E压力传感器，利用厚膜电阻的压阻效应和力敏效应研制而成。其应变电阻为具有压阻效应的厚膜钌酸盐电阻，并采用厚膜工艺技术直接印刷、烧结在陶瓷弹性体上，实现压力检测。先从传感器的基本特性、厚膜工艺、厚膜E+E压力传感器系统理论及在压力测量方面的应用进行深入的研究，阐述了陶瓷压阻式E+E压力传感器的基本原理、工艺流程；分析现有产品的技术难点，给出一体式陶瓷厚膜E+E压力传感器的设计方案。主要工作概括如下：给出了一体式陶瓷弹性膜片和新型厚膜丝网印刷版图设计方案，优化了传感器关键工艺环节；改变厚膜电阻激光修刻方案，加工制作了陶瓷厚膜E+E压力传感器。改进方案，解决了陶瓷E+E压力传感器的圆环形陶瓷基座与陶瓷弹性膜片粘接垂直相交连接处的圆周线开裂难点；惠斯通电桥不平衡影响零位信号输出的缺点；模拟信号处理电路无法满足传感器向小型化、智能化、高精度方向发展等技术难点。